c't-Archiv, 13/2003, Seite 198

Report - EUV-Lithographie

Redakteur: Jürgen Rink

Lithographie am Limit

Mit EUV-Lithographie zum ultimativen Chip

Enorme technische Herausforderungen, jede Menge ungelöster Probleme und ein hohes Investitionsrisiko warten auf die Chiphersteller, bevor Ende des Jahrzehnts 10-GHz-Prozessoren in den Rechnern stecken werden. Die EUV-Lithographie ? die Halbleiterherstellung mit extrem ultravioletter Strahlung ? soll der Königsweg dafür sein und wird die Produktion der Chipfabriken im nächsten Jahrzehnt bestimmen. Mit EUV stößt die Halbleitertechnik in atomare Dimensionen vor und erreicht damit eine naturgegebene Grenze ? der Weg dahin ist weit und steinig.

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