Halbleiter-Ausrüster ASML erzielt Rekordumsatz von 14 Milliarden Euro

Die niederländische Firma ASML hat vergangenes Jahr 32 EUV-Belichtungsmaschinen unter anderem an TSMC, Samsung und Intel ausgeliefert.

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(Bild: ASML)

Von
  • Mark Mantel

Der niederländische Halbleiter-Ausrüster ASML hat 2020 so viel Geld eingenommen wie noch nie: knapp 3,7 Milliarden Euro Gewinn bei fast 14 Milliarden Euro Umsatz. Auf das vierte Quartal 2020 entfielen knapp 4,3 Milliarden Euro Umsatz beziehungsweise 1,1 Milliarden Euro Gewinn.

Fast ein Drittel des Jahresumsatzes hat ASML mit dem Verkauf von Belichtungsmaschinen mit extrem-ultravioletten (EUV-)Wellenlängen (13,5 Nanometer) eingenommen. 32 EUV-Lithografiesysteme lieferte der Ausrüster im Jahr 2020 aus. Zu den Kunden zählen Chipfertiger TSMC, Samsung und Intel, die die Belichtungsmaschinen bei den Fertigungsprozessen ab 7 nm einsetzen und die Verwendung ab der 5-nm-Generation verstärken.

Bis dato ist ASML der einzige Zulieferer, der EUV-Systeme in Serie herstellt und verkauft. In der Bilanz für 2020 tauchen 31 verkaufte Geräte mit einem Wert von 4,5 Milliarden Euro auf. Grob geschätzt kostet ein einziges EUV-Lithografiesystem folglich rund 145 Millionen Euro. Das 32. System testet ein Kunde unter neuen Betriebsbedingungen und wird daher erst später verbucht. Ein Jahr zuvor lieferte ASML noch 26 EUV-Systeme.

Anfang 2020 prognostizierte ASML die Auslieferung von 35 EUV-Belichtungsmaschinen, erreichte das Ziel letztendlich aber nicht. Trotzdem: Der Umsatz mit den EUV-Systemen stieg im Jahresvergleich um 60 Prozent, zudem lieferte der Ausrüster das 100. Exemplar aus. Im laufenden Jahr 2021 soll der EUV-Umsatz bei etwa 5,8 Milliarden US-Dollar liegen – ein weiteres Plus von 30 Prozent. Zulieferer würden ASML laut Finanzchef Roger Dassen aufgrund von Komponentenmangel limitieren.

Der größte Umsatzanteil kommt derweil von Belichtungsmaschinen mit klassischer (DUV-)Immersionslithografie (193 nm Wellenlänge, ArF-Laser), die Chipfertiger bei älteren Fertigungsprozessen einsetzen. 227 entsprechende Systeme tauchten in der Bilanz auf – 24 mehr als ein Jahr zuvor. Die Bauzeit pro Belichtungsmaschine hat der Hersteller 2020 deutlich verkürzt.

Die Bruttomarge der DUV-Systeme war deutlich höher als bei den EUV-Modellen – Letztere kommen auf gut 40 Prozent, die Gesamtbruttomarge lag hingegen bei 52 Prozent. Die nächste EUV-Generation NXE:3600D soll die Lücke dieses Jahr schließen.

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ASML lieferte die meisten Systeme (sowohl DUV als auch EUV) 2020 nach Taiwan (36 Prozent) und Südkorea (31 Prozent). Der chinesische Anteil stieg innerhalb eines Jahres von 12 auf 18 Prozent. Außer kleineren chinesischen Chipfertigern wie SMIC unterhalten dort beispielsweise TSMC und Samsung sowie die beiden Speicherhersteller Micron und SK Hynix Produktionsstätten. Die EMEA-Region bestehend aus Europa, Naher Osten und Afrika hat den Anteil von 2 auf 3 Prozent ausgebaut – rechnerisch acht statt fünf Belichtungsmaschinen.

Die Forschungs- und Entwicklungsausgaben steigen stetig weiter und lagen 2020 bei 2,2 Milliarden Euro. Einen großen Anteil davon haben EUV-Belichtungsmaschinen mit hoher numerischer Apertur (High-NA EUV) von 0,55 statt 0,33 bei den aktuellen Systemen, die bei Fertigungsprozessen feiner als 3 nm notwendig werden.

Ab 2022 will ASML ein erstes High-NA-Testsystem in Betrieb nehmen, das auch Kunden verwenden können. Die Lieferung an Chiphersteller für die Risikoproduktion soll ein Jahr später beginnen, woraufhin 2025 oder 2026 die Serienproduktion mit entsprechender Technik starten soll.

Im ersten Quartal 2021 erwartet ASML einen Umsatz von 3,9 Milliarden bis 4,1 Milliarden Euro. Die Börse nahm die Geschäftszahlen mit einem leichten Plus auf rund 454 Euro auf.

(mma)