Lithografie-Systeme für die Chipfertigung: ASML darf weiter nach China verkaufen

Die USA und die Niederlande sind sich bei den Exportbeschränkungen gegenüber China uneinig. ASML darf Kunden wie SMIC vorerst weiter beliefern.

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ASMLs EUV-Belichter NXE:3400 von innen.

(Bild: ASML)

Von
  • Mark Mantel

Die niederländische Regierung geht bei den US-amerikanischen Handelsrestriktionen gegenüber chinesischen Unternehmen nicht uneingeschränkt mit. ASML – der Weltmarktführer bei der Produktion von Lithografie-Systemen zur Belichtung von Silizium-Wafern – darf seine Maschinen also derzeit weiter nach China verkaufen.

Lediglich eine vorhandene Einschränkung bleibt, Stand jetzt, bestehen: ASML darf keine Lithografie-Systeme nach China liefern, die mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik arbeiten. Diese Maschinen sind spätestens bei der Fertigungsgeneration mit 5-Nanometer-Strukturen notwendig. Bisher stellt ausschließlich ASML solche Systeme her.

SMIC – der größte Chipauftragsfertiger in China – hat nach Vorbild von TSMC einen 7-nm-Prozess entwickelt, der mit Immersionslithografie und Mehrfachbelichtungen funktioniert, allerdings noch mit niedrigem Fertigungsvolumen. Bei Immersionslithografie werden Wafer mit einer Wellenlänge von 193 nm belichtet; bei EUV sind es 13,5 nm.

In einem Interview mit der niederländischen Webseite NRC sagte die dortige Ministerin für Außenhandel und Entwicklungszusammenarbeit Liesje Schreinemacher, dass man eigene Bedingungen für neue Exportbeschränkungen durchsetzen wolle.

"[…] Die USA können uns solche Veränderungen nicht einfach aufzwingen. Wir nehmen souverän an diesen Gesprächen teil. Denn auch die Amerikaner brauchen uns. Wir sollten uns nicht kleiner machen, als wir sind – wir haben wichtige Unternehmen innerhalb unserer Grenzen und werden diesen Verhandlungsspielraum nicht einfach verschenken." Schreinemacher führte aus: "Die Niederlande werden die US-Maßnahmen nicht eins zu eins kopieren. Wir werden unsere eigenen Abwägungen treffen – und wir werden dies in Absprache mit Partnerländern wie Japan und den USA tun."

"Wir wollen die Technologieführerschaft behalten, strategische Abhängigkeiten vermeiden und dem unerwünschten Einsatz von Technologie entgegenwirken. Als Handelsministerin weiß ich, dass wir dem offenen Handel viel zu verdanken haben, aber wir können dies nicht 'ungetrübt' tun. Wir müssen kritischer prüfen, mit welchen Ländern wir welche Waren austauschen. "

Gespräche zwischen den USA und Niederlanden über Handelsrestriktionen gegen China sollen bereits seit zwei Jahren laufen. Die USA wollen, dass Hersteller von Lithografie-Systemen gar keine Maschinen mehr an chinesische Kunden verkaufen. US-Firmen wie Applied Materials, LAM Research und KLA müssen sich daran halten. Im Falle von ASML dürfen die US-Niederlassungen keinen Support an chinesische Kunden mehr leisten. In Japan stellt Tokyo Electron Lithografie-Systeme her – zudem ist Japan ein wichtiger Zulieferer von Chemikalien wie Fotolacken.

Schreinemacher geht davon aus, dass es in den nächsten Monaten zu einer Einigung mit der US-Regierung kommen könnte. Laut dem Nachrichtendienst Bloomberg reisen noch im November 2022 US-Offizielle in die Niederlande für weitere Diskussionen. Bei vergangenen Besuchen waren auch ASML-Manager involviert.

Im Jahr 2021 machten chinesische Kunden knapp 15 Prozent beziehungsweise 2,74 Milliarden Euro von ASMLs Umsatz aus. Anfang 2022 schoss der chinesische Umsatzanteil zeitweise auf 34 Prozent hoch – im ersten Quartal entsprach das einem Wert von 778 Millionen Euro.

Die Nachfrage nach ASMLs Lithografie-Systemen ist derart hoch, dass die Firma ihre Produktion auch ohne Verkäufe nach China auslasten kann. Allein schon für die Preisverhandlungen sind Fertiger wie SMIC aber willkommene Abnehmer.

(mma)