Ruhe vor dem Sturm: ASMLs Geschäft mit Chip-Belichtungssystemen läuft prächtig

Chipfertiger überhäufen ASML mit Aufträgen für Belichtungsmaschinen, deren Preise in die Höhe steigen. Ein EUV-System lag zuletzt bei fast 200 Millionen Euro.

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ASMLs EUV-Belichter NXE:3400 von innen.

(Bild: ASML)

Von
  • Mark Mantel

Der niederländische Halbleiterausrüster ASML liegt im Plan, den eigenen Umsatz im Jahr 2022 um 20 Prozent auf mehr als 22 Milliarden Euro zu erhöhen. Im ersten Quartal 2022 lag der Umsatz mit 3,53 Milliarden Euro leicht über den eigenen Erwartungen – verglichen mit Anfang 2021 entspricht das einem Minus von 19 Prozent, aber nur wegen einer Änderung bei der Buchungsweise. Unterm Strich blieb ein Gewinn von 695 Millionen Euro übrig.

ASML verbucht die Umsätze von Belichtungsmaschinen ab sofort nicht mehr in dem Quartal, in dem das System an den Kunden geliefert wird, sondern zum Zeitpunkt der finalen Bezahlung. Letztere erfolgt nach der Inbetriebnahme im Halbleiterwerk. Im ersten Quartal 2022 entstand dadurch eine Kluft, in der ASML etwa nur drei von neun verkauften Systemen für Fertigungsprozesse mit extrem-ultravioletter (EUV-)Belichtungstechnik verbuchte.

Deren Stückpreis stieg derweil beträchtlich: Kostete ein EUV-Belichter vergangenes Jahr noch rund 145 Millionen bis 150 Millionen Euro, gab ASML-Finanzchef Roger Dassen in der Analystenkonferenz jetzt einen Umsatz von 591 Millionen für die drei Systeme an. Das ergibt 197 Millionen Euro pro Belichter.

Mit anderen Systemen, darunter hauptsächlich Belichter für gröbere tief-ultraviolette (DUV-)Lithografie, nahm ASML knapp 1,7 Milliarden Euro ein. Der restliche Umsatz stammte etwa von der Wartung bereits verkaufter Belichter. Milde interessant: 1 Prozent des Umsatzes machte zuletzt wieder der Wirtschaftsraum Europa, Naher Osten und Afrika (EMEA) aus. Knapp 739 Millionen Euro steckte ASML in die Forschung und Entwicklung.

Aufschlüsselung von ASMLs Umsatz. Die Vergleiche hinken wegen des neuen Buchungssystems jedoch.

(Bild: ASML)

Die Kosten für die modernsten Maschinen werden künftig noch weiter steigen: Kunden wie Intel, TSMC und Samsung haben die ersten EXE:5200-Systeme bestellt, die Silizium-Wafer mit extrem-ultravioletten Wellenlängen bei hoher numerischer Apertur (High-NA EUV) von 0,55 statt 0,33 belichten und so eine feinere Auflösung von 8 statt 13 nm ermöglichen. Laut ASML liegen die Kosten pro High-NA-System bei weit über 300 Millionen Euro.

Die Auftragsbücher sind derweil weiter prall gefüllt. Allein im ersten Quartal kamen insgesamt Bestellungen im Wert von fast 7 Milliarden Euro hinzu, darunter 2,5 Milliarden für EUV-Belichter mit normaler numerischer Apertur.

ASMLs Produktionskapazitäten sind ein großes Thema in der Halbleiterbranche, weil der Bau neuer Halbleiterwerke maßgeblich von der niederländischen Firma abdeckt – bis dato produziert beispielsweise kein anderer Zulieferer EUV-Belichter in Serie. Die Planung zum Ausbau der eigenen Kapazität hat ASML daher deutlich nach oben korrigiert: Ab 2025 will die Firma jährlich 90 EUV-Belichter mit normaler numerischer Apertur und 600 DUV-Systeme herstellen. Letztes Jahr plante ASML noch mit 70 EUV- und 375 DUV-Belichtern im Jahr 2025. Die High-NA-Maschinen kommen noch obendrauf.

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Auch so bleibt ASMLs Produktionskapazität allerdings mit hoher Wahrscheinlich ein Flaschenhals beim Bau neuer Halbleiterwerke. Die Skalierung hängt unter anderem auch von den Zulieferern ab, auf die ASML angewiesen ist, etwa vom deutschen Hersteller Zeiss für die Linsen.

Die eingangs angesprochene Buchungskluft erledigt sich derweil mit dem jetzt laufenden zweiten Quartal 2022: ASML erwartet einen Umsatz von bis zu 5,3 Milliarden Euro – 32 Prozent mehr als im zweiten Quartal 2021 (4,02 Milliarden Euro). Nach Bekanntgabe der Geschäftszahlen verzeichnete die Börse ein leichtes Minus auf knapp 570 Euro.

(mma)