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Bosch startet Produktion des kleinsten MEMS-Chips

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Die Firma Bosch Sensortech hat nach Angaben der Bosch-Tochter Akustica das bisher kleinste MEMS-Mikrofon produziert – es ist nur 700 Quadratmikrometer groß (MEMS: Microelectromechanical Systems). Auf dem CMOS-Chip sind die Mikrofon-Membran, ein MIxed-Signal-CMOS-Schaltkreis und ein PDM-Ausgang zusammengefasst. Das Mikrofon ist laut Akustica für hochqualitative Sprachanwendungen in Notebooks, Tablet-PCs und Netbooks gedacht.

Das AKU230 ist die mittlerweile vierte Generation vom MEMS-Mikrofonen von Akustica. Als erstes Produkt wird es am Bosch-Standort Reutlingen produziert. Diese Entscheidung fiel laut Akustica aufgrund Boschs "einmaliger Fertigungskompetenz" und der "rigorosen Qualitätsstandards", welche Bosch in die Lage versetzt hätten, bereits mehr als 1,6 Milliarden MEMS-Sensoren weltweit zu verkaufen. Bosch übernahm die 2001 in Pittsburgh gegründete Firma Akustica im Jahr 2009.

Das AKU230 nutzt Akusticas patentierte CMOS-MEMS-Plattform, in der die mechanische Funktion eines Mikrofons mit digitalen und analogen Sensoren auf einem Chip zusammengefasst sind. Acustica ist nach eigenen Angaben der einzige Hersteller, der MEMS, ASICs und das Package im eigenen Hause entwickeln kann. Mithilfe von Bosch sei nun eine eigene Fertigung dazugekommen. Diese Kombination erlaube es Akustica, Produkte besonders schnell marktfähig zu machen. So sei es auch möglich gewesen, den Mikrofon-Chip, welcher Mikrofonmembran, Verstärker und Sigma-Delta-Wandler enthält, auf nur 0,84 Quadratmillimeter zu "schrumpfen". Mit einer Fläche von 3,76 x 4,72 Millimeter und einer Höhe von 1,25 Millimeter sei das Modul ideal für Thin-Form-Factor-Anwendungen geeignet. (ggo)