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Klimakiller Flachbildschirm?

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Das bei der Halbleiterproduktion zur Anlagenreinigung genutzte Stickstofftrifluorid beschleunigt möglicherweise den Treibhauseffekt. Wie der NewScientist berichtet, wurde Stickstofftrifluorid (NF3) ursprünglich als Messlatte für die Emission von Treibhausgasen eingeführt. Doch nun glauben Forscher, dass das Gas im Gegenteil den Treibhauseffekt beschleunigt.

Stickstofftrifluorid wird in gößeren Mengen zum Plasmaätzen genutzt, einem Reinigungsverfahren in der Chip-, Display- und Solarzellenfertigung. Die LCD-Hersteller nutzen die anorganische Fluorverbindung, um ihre Anlagen zur Bedampfung der großflächigen Glassubstrate von Rückständen zu befreien. Normalerweise sind den Ätzreaktoren in den Panelfabriken Filteranlagen nachgeschaltet, die überschüssiges Ätzgas zerstören sollen.

Als künstliches Gas ist NF3 über 17.000 mal klima-potenter als Kohlendioxid und verbleibt in der Atmosphäre etwa 550 Jahre, bis es zur Hälfte abgebaut ist. Es ist nicht als Treibhausgas im Kyoto-Protokoll vermerkt, weil es nur in sehr geringen Mengen hergestellt wurde, als man die Grenzwerte für den Ausstoß von Treibhausgasen 1997 im Protokoll festlegte. Außerdem konnte es mit den Messmethoden seinerzeit nicht so exakt erfasst werden wie heute. Weil inzwischen sehr viel mehr Flachbildschirme hergestellt werden als Ende der 90er, hat auch die Produktion von Stickstofftrifluorid stark zugenommen. Im Sinne des Klimaschutzes und mit Blick auf die boomende Solarindustrie sollten sich die Hersteller besser nach einem anderen Verfahren zur Reinigung ihrer Anlagen umschauen. (uk)

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