Samsung beginnt 7-nm-Produktion in 5,6 Milliarden Euro teurer Fab

Samsungs Chipproduktionsstätte V1 im südkoreanischen Hwaseong ist zum Start für Fertigungsprozesse mit Strukturbreiten von bis zu 3 Nanometern ausgelegt.

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Samsungs fertige Fab V1 im südkoreanischen Hwaseon neben der S3-Stätte.

(Bild: Samsung)

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Nach dem Baubeginn im Februar 2018 ist Samsungs Chipproduktionsstätte V1 in Hwaseong, Südkorea, fertiggestellt. Die Chipfertigung mit eigener 7- und 6-Nanometer-Technik, 7LPP und 6LPP (Low Power Plus) genannt, läuft dort zurzeit an. Verglichen mit Stand 2019 möchte Samsung die Produktion von Chips mit Strukturbreiten von 7 nm und feiner bis Ende 2020 verdreifachen.

Bis dahin wird die V1 genannte Fab umgerechnet 6 Milliarden US-Dollar beziehungsweise knapp 5,6 Milliarden Euro verschlungen haben, wie Samsung in seiner Pressemitteilung schreibt.

Die neue Produktionsanlage ist zunächst für Fertigungsprozesse bis 3 nm ausgelegt, also auch für 5 nm und 4 nm. In der V1-Fab kommen Belichtungsmaschinen mit extrem-ultraviolettem Spektrum (EUV) zum Einsatz – Prozesse mit rein klassischer Lithographie (14, 10 nm) laufen dort nicht. Solche Belichtungsmaschinen nehmen künftig mit hoher numerischer Apertur (High-NA-EUV) – also alles, was über 7 nm hinausgeht – mehr Platz ein als bisher, was Chipfertiger zum Bau neuer Anlagen zwingt.

Erste Systems-on-Chips (SoCs) mit 7-nm-Technik aus der V1-Fab sollen noch bis Ende März 2020 an Kunden verschickt werden. Zu Kunden zählt Samsung Semiconductor beispielsweise auch seine Smartphone-Schwestersparte, die ihre Exynos-Prozessoren im eigenen Haus einkauft.

Samsungs Investitionen in die Chipfertigung reißen derweil nicht ab: Im Frühling 2019 verabschiedete das Unternehmen einen Plan, der Ausgaben von 104 Milliarden Euro bis 2030 vorsieht. TSMC, der weltweit größte Chipauftragsfertiger, baut laut dem Nachrichtendienst Taiwan News unterdessen eine 18,2 Milliarden Euro teure Fab in Taiwan, in der ab 2023 Chips mit 3-nm-Technik vom Band laufen sollen. Intel bemüht sich, bei neuen Fertigungsprozessen zum 2-Jahres-Rhythmus zurückzukehren.

(mma)